半导体用高纯度二氧化碳供应趋紧 整体库存量跌破一个月水平

半导体先进制程所需的高纯度二氧化碳（CO2）近期出现供应趋紧迹象，产业拉响短缺警报。据The Elec消息，由于炼油及石化工厂开工率下降，导致二氧化碳产量大幅减少。

库存水平下降

通常情况下，半导体制造商与相关供应商各自都会储备两周的二氧化碳用量，两者合计能维持一个月的库存量。但近期整体库存量已经跌破一个月水平，反映出供给端缺口正在扩大。

二氧化碳供给为何减少

高纯度二氧化碳是半导体制造过程中的关键材料，而其主要来源之一是炼油与石化产业的副产品。当炼油及石化工厂开工率下降时，副产品的产量也随之减少，进而影响到半导体行业的原料供应。

“整体库存量已经跌破一个月水平。”——引自The Elec消息

目前业界尚未公布具体的恢复时间表，供应紧张局面仍在持续。

韩国半导体高纯度二氧化碳供应趋紧 月用量超2000吨 价格年内涨20%

三星电子与SK海力士的高纯度二氧化碳供应正在收紧。知情人士透露，三星电子每月高纯度二氧化碳用量约1800至2000吨，SK海力士每月用量约600至700吨。目前两家企业的生产尚未受到实际影响，但库存余量持续减少，正全力加紧采购。即便提高单价，也难以确保额外供应量。

原料短缺成主因 短期扩产受限

工业气体行业人士指出：“由于缺乏原料，我们无法按需供应产品。目前从物理条件来看，短期内没有办法扩大产量。”业内分析认为，中东局势导致原油供应不稳，进而使韩国国内石油化工企业开工率下降，是造成二氧化碳原料短缺的重要原因。二氧化碳原料主要是炼油、石油化工以及制氢等生产过程中产生的副产品。

据悉，液态二氧化碳价格较年初已上涨约20%。业界普遍预计，供应紧张局面很可能持续到年底。

超临界清洗工艺：先进制程不可或缺

高纯度二氧化碳主要用于半导体超临界清洗工艺。超临界是指物质超过临界温度和临界压力时所呈现的物理状态。在此状态下，液态与气态的界限消失，二氧化碳同时具备两者的特性：既拥有接近液体的密度，能有效溶解晶圆表面的残留物和污染物；又兼具气体的流动性，可以深入微细电路图案内部清除杂质。由于先进制程芯片的线路间距极窄、结构高低落差较大，因此必须采用超临界清洗工艺。

A股相关企业梳理

据《科创板日报》不完全统计，A股中涉及高纯度二氧化碳供应的公司包括：

• 金宏气体：超纯氨、高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳等优势产品已成功供应众多头部半导体企业。
• 至纯科技：为12英寸28纳米及以下集成电路客户提供大宗气站服务，供应的大宗气体主要包括高纯氮气、高纯氧气、高纯氩气、高纯氢气、高纯氦气、高纯二氧化碳等。
• 凯美特气：主要产品有高纯二氧化碳、氢气、燃料类产品等，广泛应用于电子、化工、饮料、食品、烟草、石油、农业等领域。